干式真空泵冷卻系統維護（分風冷 EV?SA/EV?A/EV?X、水冷 EV?M/EST/ESA 兩大機型，荏原現場標準維保）

一、風冷型（EV?SA、EV?A、小型 EV?X，電鍍、實驗室配套主力）

1. 日常點檢（每周）

1. 散熱過濾網：拆下吹掃粉塵、纖維，環境多酸堿霧氣每 3～5 天清理；濾網堵塞→風量下降、泵體升溫、真空變差。

2. 冷卻風扇：查看運轉無異響、無卡頓；風扇老化風量衰減，泵溫升＞40℃效率下降。

3. 泵外殼散熱翅片：壓縮空氣吹除積灰、結晶油污；電鍍酸霧環境翅片易沾腐蝕結晶。

2. 月度保養

1. 檢查風扇固定螺絲、電源線；軸承異響直接更換散熱風機。

2. 設備周邊預留≥15cm 通風空間，不要密閉包裹、不要靠墻堆放。

3. 異常處置

二、水冷型（EV?M 羅茨、EST/ESA 螺桿，半導體刻蝕、MOCVD 機型）

1. 冷卻水水質要求（關鍵）

• 優先軟水 / 去離子水，禁止自來水長期直供（水垢堵水道）；

• 進水標準：水溫 **≤25～28℃**、進水壓力 0.2～0.4MPa，原廠規范。

2. 日常巡檢（每日）

1. 進出水溫差：正常 3～6℃；溫差驟變小 = 水路堵塞。

2. 查看管路有無滲漏、閥門滴水；回水目視水流連續無斷流。

3. 冷卻水塔 / 循環水箱：液位充足、無藻類、油污漂浮。

3. 月度維護

1. 過濾器濾芯清洗 / 更換，水路前置 Y 型過濾器必拆洗。

2. 管路排氣：排空水冷夾套內部積氣，氣堵會局部過熱。

4. 季度深度保養（6 個月一次，重腐蝕工況 3 個月）

1. 水路酸洗除垢：檸檬酸循環清洗泵體冷卻夾套水垢，水垢附著換熱效率暴跌 30% 以上。

2. 檢查冷卻盤管內壁腐蝕，酸堿廢氣工況冷卻水易滲入腐蝕夾層。

5. 冬季防凍

三、共用故障判斷

1. 泵溫偏高、極限真空變差、電流變大 → 冷卻失效；

2. 水冷出水溫度異常偏高：堵水、水量不足；

3. 風冷機身燙手：濾網堵、風扇損壞。